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電子行業綠色工廠標準解讀之一:多晶硅制造業綠色工廠評價要求

編者按:創建綠色工廠是推動制造業綠色轉型升級、實現高質量發展的重要手段。為進一步發揮標準的規范引領作用,將電子行業綠色工廠創建行動引向深入,在工業和信息化部的指導下,中國電子技術標準化研究院、全國綠色工廠推進聯盟牽頭編制了《微型計算機制造業綠色工廠評價要求》(T/CESA 1088-2020)等18項電子行業綠色工廠評價標準。本批標準在《綠色工廠評價通則》(GB/T 36132-2018)、《電子信息制造業綠色工廠評價導則》(SJ/T 11744-2019)框架下,突出行業和產品特點,進一步明確了評價原則、評價方法、評價指標體系、評價具體要求、評價程序和評價報告等相關技術內容,為電子制造業綠色工廠創建和評價提供了標準依據。為幫助相關企業和機構準確應用標準,現對部分標準進行解讀,供參考借鑒。

電子行業綠色工廠標準解讀之一: 

多晶硅制造業綠色工廠評價要求

多晶硅是由一種硅源氣體經化學氣相沉積生成的結構上具有大角度晶粒間界、孿晶間界或兩種結構兼有的硅多晶,多晶硅是一種生產使用量大面廣的半導體電子原材料,在光伏行業、集成電路制造等領域中發揮著重要基礎作用?!抖嗑Ч柚圃鞓I綠色工廠評價要求》(T/CESA 1082-2020)(以下簡稱“本標準”)規定了多晶硅制造業綠色工廠評價的原則、方法、指標體系及要求、程序和報告等,適用于對運用三氯氫硅法和硅烷法生產多晶硅產品的工廠進行評價,運用其他工藝方法的工廠可參照使用。

本標準圍繞《綠色工廠評價通則》(GB/T 36132)及《電子信息制造業綠色工廠評價導則》(SJ/T 11744)中規定的基本要求,以及基礎設施、管理體系、能源資源投入、產品、環境排放、績效等6個一級指標展開,充分考慮多晶硅產品制造業的特征特性,進一步細化了27個二級指標,涉及103個具體要求。如,工廠使用的多晶硅還原爐等專用設備應符合產業準入要求,降低能源與資源消耗,減少污染物排放;工廠應投入與副產物四氯化硅處理量相匹配的冷氫化裝置,使副產物四氯化硅得到有效處理,并投入適宜的其他污染物處理設備,以確保其污染物排放達到相關法律法規及標準要求;工廠應在多晶硅產品設計中引入生態設計的理念,宜按照《綠色設計產品評價技術規范 多晶硅》(T/CNIA 0021)開展綠色設計產品評價;工廠生產的多晶硅產品品質應滿足《電子級多晶硅》(GB/T 12963)或《太陽能級多晶硅》(GB/T 25074)等規定的技術要求等。

為保證評價工作可操作性,本標準對“用地集約化、原料無害化、生產潔凈化、廢物資源化、能源低碳化”5項綠色工廠績效指標進行細化和分級,將多晶硅產品生產制造工廠的綠色績效水平分為3個級別,并給出不同績效水平對應的指標要求和評價得分。如,明確多晶硅制造業“廢物資源化”對應的“單位產品硅粉用量”指標要求分別為≤1.1t/t(1級)、≤1.2t/t(2級)、≤1.4t/t(3級);“能源低碳化”對應的“單位產品綜合能耗”指標要求分別為≤11.5tce/t(1級)、≤12tce/t(2級)、≤13tce/t(3級)等。

亞洲硅業(青海)、新特能源、內蒙古通威等企業參與了本標準的研制和驗證。

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